潔凈室無塵車間的標準詳細參數

潔凈室無塵車間的標準詳細參數
潔凈室中無塵車間地板、墻面、天花板材料選購的知識
1、對于半導體工業而言，無塵車間是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。
2、無塵車間其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都會覆蓋，乙烯基。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。

3、而無塵車間的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
4、另外，無塵車間zui怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。

例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優點為，放置方式并沒有嚴格的限制。

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無塵車間是指將一定空間范圍內空氣中的塵埃微粒、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

亦即是不論外在空氣條件如何變化，其無塵車間內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵車間zui主要之作用在于控制產品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的無塵環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間凈化車間。

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